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PECVD管式炉硫源低毒改造系统
| 申购单号 | 202610112868 |
| 申购单主题 | PECVD管式炉硫源低毒改造系统 |
| 采购人 | 中山大学 |
| 使用单位 | 电子与信息工程学院（微电子学院） |
| 币种 | 人民币 |
采购明细
| 设备名称 | PECVD管式炉硫源低毒改造系统 |
| 品牌 | 深圳纳设 |
| 型号 | BTF- 1200CII-SLPECVD 2026 |
| 数量 | 1 |
| 单位 | 套 |
| 规格 | 1. 有机硫源载气气路通往PECVD管式炉，气体管路需有保温保护层，防止前驱体在管壁冷凝沉积； 2.包含可编程逻辑控制单元（PLC）、通过软件对有机硫源、生长工艺配方实现软件控制； 3. 可以使用固态二甲基硫/二乙基硫作为硫族生长源； 4.配置：质量流量控制器*3； 1/4VCR垫片C1025*50； DeviceNet总线电缆*3； DevicelNet T型连接器*3；电子压力表（模拟量输出）*1； 新增管道及VCR接头*1 |
| 备注 | 包括半导体设备，电真空器件生产设备，电子元件制造设备，环境例行试验设备，激光、印刷线路计算机生产设备，生产线及装配线，磁盘打印机生产设备等。 |
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本公告地址：https://www.bgypzb.com/view/18342/dVSwMqEBni4p5U9XcBEr.html
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